全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线投产 引领智能传感“芯”生态--中电二公司蚌埠传感谷二期EPC项目

　　近日，桑达股份所属中电二公司承建的中国蚌埠传感谷8英寸MEMS晶圆生产线EPC项目首批产品成功下线英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线正式投产。既是桑达股份所属企业深耕半导体产业服务领域的重要突破，更是以全产业链协同能力赋能国家高端制造的生动实践。从2022年6月中标到如今顺利投产，中电二公司坚持“以终为始，精益建造”的理念，交出当代央企挺膺担当的满意答卷。

　　安徽省蚌埠市素有“珠城”美誉，是淮河文化发祥地之一。如今，这座曾经以传统制造业闻名的老工业城市，正依托全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线的投产，加速从“制造基地”向“创新策源地”的跃迁，为中国智能传感器产业的发展注入强劲新动能。项目总建设投资达50.6亿元，占地约79亩，总建筑面积约6万平方米。作为国家级重点项目、全部建成投产后，将具备月产3万片晶圆的能力，成为国内产出最大的MEMS全自动晶圆生产线。

　　项目自筹建即受到国家国资委、安徽省委、蚌埠市委等政府和社会各界高度重视，各级领导多次亲临项目现场进行参观、指导和调度工作。中标后，中电二公司第一时间组建了行业经验丰富的设计团队、技术团队和施工管理团队进驻现场。通过科学的组织、周密的计划和高效的执行，项目团队攻坚克难、团结协作，最终高标准完成建设任务，得到了各级政府及业主单位的高度认可和评价，荣获“优秀承包商”“优秀管理团队”等多项荣誉。

　　作为设计－采购－施工一体化项目，蚌埠传感谷MEMS建设周期长、技术难度高、协调界面多。项目团队充分发挥“全生命周期服务”和“全产业链协同”的核心优势，通过精诚合作与深度融合，克服诸多困难，高标准顺利达成各项里程碑节点并成功交付运营。

　　为提升效率与品质，项目部在设计阶段即安排土建、机电各专业建造主管进驻现场，与设计负责人共同研讨设计方案、施工工法、设备选型等，形成利于施工、采购和提效的方案。这种深度融合有效实现了问题前置化解决和源头优化，例如对FAB、CUB屋面设备基础柱墩、二次砌体墙全部留洞和机电管线全部配置支架的前置设计，显著提升了施工便捷性与结构可靠性，从细节到整体都体现出品质与效率并行的理念。

　　同时，中电二公司充分发挥内部全产业链资源优势，为业主提供覆盖“前期咨询－中期设计建造－后期运维”的全生命周期服务。在建造阶段深度整合公司资源，涵盖临建装配化、阀组工厂预制化、支架轻钢化、风管数字化、纯废水专业化、气化专业化、GMS专业化、专业测试及智慧厂务等，形成强大合力，为项目高质量交付提供了全方位保障。

　　该项目技术复杂、重难点多，涉及高支模、深基坑、大体积混凝土浇筑等多项危大工程及技术复杂的专项工程。面对这一情况，项目团队亮剑出击，单独成立技术小组，在项目总工的带领下逐步攻克各项技术难题，并在内部资深专家支持下，深入开展方案研讨与严谨论证。依靠集体智慧和科学决策，以聚力攻坚保障安全实施、以技术创新驱动降本增效，确保了各项重难点工程的顺利、安全实施。

　　一方面，针对多专业深度交叉的挑战，项目部统筹策划，采用分区、分层施工策略，实现工序穿插管理的多措并举，有效解决了专业间干扰，实现了节约施工周期与减少材料浪费的双赢。另一方面，项目部贯彻“永临结合”的绿色建造理念，针对临时设施往往因其不可逆性而造成的资源浪费现象，在规划设计阶段将厂区临时设施与永久性设施进行统一考虑与布局。通过最大化利用重合部分，成功将大量临时工程转化为永久工程，成功实现了节减建造投资与缩短建设工期的双效并行。

　　该项目作为国家级重点项目，在中电二公司内部得到高度重视及支持。结合项目特点与业主需求，积极推行正向设计、防微振、智能高效机房、颜色管理等多项先进技术与管理方法的落地运用，显著提升了项目品质与未来运营效能，获得业主高度赞誉。

　　为提升设计质量与设计效率，中电二公司技术创新与发展研究院BIM所牵头设计团队，首次在整个园区项目实施中全面推行全过程正向设计，其综合效益十分显著：一是问题前置化解决，利用BIM技术精准识别潜在冲突与缺陷，有效规避因设计变更引发的返工或延误；二是源头优化降本增效，通过多方案比选、性能模拟和参数优化，从源头优化结构选型、设备选配、空间布局等，显著降低材耗能耗，兼顾经济性与可持续性；三是效率质量双提升，该模式颠覆传统串行流程，支持多专业基于统一模型平台同步协同工作，大幅缩短传统设计周期，且三维信息模型的设计准确度高、表达清晰、信息完备，实现设计精度与质量的系统提升。

　　中电二公司技术创新与发展研究院防微振所负责本项目防微振实施工作，在项目初期便进行了周边环境微振测试与振动源分析，并针对不同类型制定了综合解决方案：一是结构防微振设计，通过强化厂房结构刚度、合理设置抗震缝，提高厂房承振荷载；二是机台防微振设计，针对60余台有微振需求的工艺设备（微振等级最高达VC-D），为关键机台配置成品独立防微振基座；三是管道防微振设计，对动力设备及管道系统实施有效隔振减振。这些措施为产线的稳定运行和产品高良率提供了至关重要的环境保障。

　　为实现半导体制造厂房核心能耗单元——动力设备群组（能耗占比50%）及其关键供能节点冰机系统（能耗占比18%）的能效优化，中电二公司技术创新与发展研究院智能化所协同项目团队，采用“规划－设计－控制”三位一体的创新架构，实现项目能效跃升：一是规划层面，建立深度耦合业主需求的全生命周期规划体系，基于运维大数据分析前瞻性升级路径，并运用全生命周期成本（LCC）模型平衡短期节能与长期技改弹性；二是设计层面，采用数字化精准设计，搭建工厂8760h逐时负荷模型，运用ESim+CFD耦合仿真技术实现“设备选型－管网布局”协同优化，提供最优性价比方案；三是控制层面，智能部署“机理模型+数据驱动”双引擎AI节能系统，实现多机组负荷最优分配、水温自适应调节及管网动态平衡，实现动态能效优化。

　　经实测对比，该项目制冷系统综合能效系数（SCOP）实现从4.5到5.5的跨越式提升，预计可为工厂运营直接节省电费≥235万元/年（电价按0.8元/kWh计），投资回收周期缩短至2.3年（较行业基准缩短37%）。

　　为提升项目观感与品质，项目团队对核心区域实施系统性颜色管理：生产厂房采用烤漆蓝C型钢支架，保证管线系统整洁美观；Truss层马道栏杆选用抗氧化性强的成品烤漆黄，避免传统材质长期使用后易发黑氧化问题；核心机房保温外壳采用PVC彩壳保护层代替原设计铝板材质，显著增强了机房的视觉美感与交付品质。

　　在国家“双碳”目标持续全面深化、全球科技产业格局加速变革的背景下，桑达股份所属中电二公司将持续践行央企使命，持续秉持L-EPC精益建造理念，以技术为引领，以客户为导向，以服务为宗旨，全力赋能更多半导体厂房建设项目，为推动我国半导体产业迈向国际领先水平、构建智能传感“芯”生态贡献更大力量。